레이아웃을 완료한 후 진행하는 검증 종류 중에 안테나 룰 체크하는 단계가 있다. 보통은 일반 DRC 룰에 포함되어 있지만, 안테나 룰을 별도로 돌려야 하는 경우도 있다.이번 포스팅에서는 DRC 관점에서는 안테나 에러, 이론적으로는 안테나 효과(antenna effect)라고 불리는 현상 및 레이아웃 에러 발생 시 대처 방법에 대해 알아본다. 안테나 효과란? 안테나 효과의 보다 정확한 표현은 plasma induced gate oxide damage(플라즈마 유도 게이트 산화물 손상)이지만, 왜인지 이쪽 업계에서는 안테나 효과라는 표현을 사용하고 있다.반도체 제조 공정 진행 중에는 플라즈마(plasma)를 사용하는 공정이 많은데, 특히 플라즈마 에칭(plasma etching) 공정은 최근 고밀도 플라즈마..
