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MOS Transistor matching - Well Proximity Effect (WPE)

MOS Transistor matching을 고려할 때 공정 관련하여 잘 알고 있어야 하는 두 가지가 Well Proximity Effect(WPE)와 STI(Shallow Trench Isolation)라고 할 수 있다.본 포스팅에서는 이 중 Well Proximity Effect(WPE)에 대해 설명해 본다.  반도체 공정 진행 중에는 패턴을 입히는 모든 단계마다 감광액(photoresist)을 사용하여 웨이퍼 상에 형성되어햐 하는 부분과 반대의 부분을 구분하게 되어 있다.그래서 공정에서는 감광액의 특성이 아주 중요하다. 얼마나 중요하냐면 2019년 9월에 한국의 반도체 산업을 죽이기 위해 일본이 어떤 원료에 대해 수출규제를 단행해서 난리가 났던 일을 기억한다면 알 수 있을 것이다. 그 때 수출규제 ..

IC레이아웃 2024.06.19
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